📝工具简介
离子束溅射计算器，依据离子能量、入射角、靶材原子序数与离子电流密度，估算溅射产额与刻蚀速率，用于离子束刻蚀与薄膜制备工艺参考。
✨功能特点
- 溅射产额 Y 估算
- 刻蚀速率（nm/min）
- 离子通量计算
- 常用靶材快选
- 历史记录本地保存
🎯使用场景
- 离子束刻蚀工艺设定
- 薄膜溅射沉积估算
- SEM 制样离子减薄
- 教学与科研参考
💬常见问题
为何与实测偏差较大？
本工具采用经验近似公式，未含阈值能量与离子种类修正，实际产响应以实测或 SRIM 模拟为准。
入射角为何限制 <90°？
接近掠射时 cosθ 趋零，公式发散，实际存在最大产额角（约 60°～80°）。